Forschungsgebiete

Wichtigste Arbeitsgebiete : Plasmachemie-Festkörper Chemie, Kinetik und Mechanismen (Massenspektroskopie, LIF fluorescence) Dünnschichtherstellung mittels Plasma CVD ,PVD, OM CVD (Ge, Si, Heteroepitaxy von 3C-SiC) und chemischen Transport. Plasma Ätzen, Plasma-Wand-Wechselwirkung in der Kernfusion. Oberflachenanalytik (XPS,AES.ISS,STM), Oberflächenchemie in Plasmen. Restaurierung und Konservierung von archeologische Funden. Lichtemittierendes nc Si und Ge, optiche Eigenschaften von Organosilanen, superharte Nanokompositen.